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产品名称:负型光阻显影液
产品说明:

产品概述:

·产品特性

1. 为本公司开发生产之光阻显影液。

2. 适用于负型光阻。

3. 显影效果佳,制程稳定。

4. 主成份为 2.98% KOH。

·产品特点

1. 显影性佳,图像边缘平整。

2. 非图像部分无残渣。

3. 操作温度宽。

4. 消泡性好,溶液具有自身消泡和抑泡功能。

5. 溶光阻后溶液分散稳定性极佳。

·基本物性

1. 项目:KD-820。

2  外观:透明液体。

3. 浓度(KOH):2.98%。

4. 水溶性:可互溶。

·操作流程

Step1:显影

Temperature: 23℃

Immersion Time: 50-90 sec

(依光阻膜厚及实际制程需要调整显影时间)

Step2 :DI 水洗 Room Temperature

Step3 :干 燥 Spin Dr

·产品包装,储存

1. 包装方式:20L/桶。

2. 储存:12个月。

·注意事项

1. 本产品含有腐蚀性之水溶液。

2. 请穿戴橡皮手套及护目镜等保护用具。

3. 储存时应存放于密封容器内。

4. 应避免与眼睛及皮肤接触。

5. 操作环境应尽可能保持洁净与干燥。

6. 操作后请以香皂洗手。

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